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全自動/半自動探針台對6"、8"的晶圓級各類器件的性能測試,可針對不同晶圓測試,可配備相應的儀器儀表,進行I-V、C-V、光信號等特性分析,設備功能豐富,可匹配多種測試應用環境,可升級大功率晶圓測試、射頻測試、全自動測試並可加載溫控系統,滿足客戶在高低溫環境下的各種晶圓器件性能測試需求。
Fully automated probe stations
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全自動/半自動探針台對6"、8"的晶圓級各類器件的性能測試,可針對不同晶圓測試,可配備相應的儀器儀表,進行I-V、C-V、光信號等特性分析,設備功能豐富,可匹配多種測試應用環境,可升級大功率晶圓測試、射頻測試、全自動測試並可加載溫控系統,滿足客戶在高低溫環境下的各種晶圓器件性能測試需求。
Semi-automatic probe stations