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HX50N系列半自動探針台
HX50N系列半自動探針台適用於4英寸、5英寸晶圓,包含二極管,三極管,MOSFET管、垂直結構晶片之測量,特別適合於翹曲晶圓和高壓晶片測試,可選配多針測試功能,可實現多顆同時測量之要求,提高機器的測試產能。
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HX80N系列半自動探針台
HX80N系列半自動探針台是定製類適用於傳感器晶圓測試綜合型晶圓探針台,具有很好的測試精度,可搭配定製型儀表系統,完成諸如光電傳感器、壓力傳感器和氣體傳感器等測試。
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HX12N系列半自動探針台
HX12N系列半自動探針台配置高精度的直線電機滑台模組,行程滿足8英寸、12英寸晶片的測試。定位精度高,反應速度快以及使用壽命長等優勢,滑台同時配備了高精度的光柵反饋系統,保證了運行精度的可靠性,並且該模組為本公司自研產品,保證了模組的成品質量和生產周期,為探針台的測試给予了又快又準的硬件保障。
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