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室溫真空探針台PSV系列

室溫真空探針台PSV系列

PSV系列室溫真空探針台，可對樣品進行穩定的非破壞性表徵。PSV系列室溫真空探針台可選配高溫樣品座，升級成高溫真空探針台。高溫測試時，顺利获得溫控儀的PID閉環迴路實現精確控溫，溫度範圍：室溫-800K（500K可選）；顺利获得外接不同的電學測量儀器，可在室溫真空和高溫真空環境下完成材料、器件的IV、CV、光以及微波等參數的電學測試。PSV系列真空探針台是的一款性能非常優秀的可變溫探針台，它可以幫助科研人員深入探究材料或器件的各項物理與電學性能，為新材料的研發和應用给予關鍵的數據保證。

室溫真空探針台PSV系列產品概述

PSV系列室溫真空探針台，可對樣品進行穩定的非破壞性表徵。PSV系列室溫真空探針台可選配高溫樣品座，升級成高溫真空探針台。高溫測試時，顺利获得溫控儀的PID閉環迴路實現精確控溫，溫度範圍：室溫-800K（500K可選）；顺利获得外接不同的電學測量儀器，可在室溫真空和高溫真空環境下完成材料、器件的IV、CV、光以及微波等參數的電學測試。PSV系列真空探針台是的一款性能非常優秀的可變溫探針台，它可以幫助科研人員深入探究材料或器件的各項物理與電學性能，為新材料的研發和應用给予關鍵的數據保證。


特點
• 真空腔極限真空度能夠達到~10-4Torr。
• 真空腔材質為鋁製材料，能夠有效減小外界的電磁干擾提高測試的精準度和穩定性。

• 探針臂的位移調節在真空腔外操作，可以在不破壞真空的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試。

• 獨特的探針臂 X-Y-Z-R四維調節，能滿足最大2英寸樣品的測試。

• 標配四個直流探臂，最多可安裝六個探針臂，可以選配：微波探針臂、光纖探針臂、熱電偶探針臂。

• 直流探針臂採用三同軸接頭，漏電性能好，實測漏電流小於100fA@1V@300K-800K。

• 溫度範圍可擴展，安裝高溫選件後，最大支持300K-800K陆续在變溫。


室溫真空探針台PSV系列技術參數

型號分類：

型號樣品座尺寸
PSV-22英寸


參數和指標： 

樣品座
樣品座類型及材質：
無氧銅接地樣品座
尺寸：
2/4英寸
可選配置：
接地樣品座、絕緣樣品座、同軸樣品座、三同軸樣品座
探針臂組件
類型：
直流探針臂
數量：
4個
接頭和線纜：
三同軸接頭
漏電流：
100fA@1V真空環境
信號頻率：
直流~50MHz 研讨
匹配阻抗：
50 Ω
探針針尖直徑：
100μm鈹銅探針
位移行程：
X-±35mm，Y-±12.5mm,Z-±6.5mm ，R-±10°
讀數精度：
10μm
光學系統
顯微鏡放大倍數：
10~180 倍
解像度：
3μm
視野範圍：
可到 22mm
顯微鏡工作距離：
90~100mm
顯微鏡支架升級行程：
65mm
真空腔體
材料：
鋁合金
腔體容積：
4/6L
外形尺寸：
800*800*600
腔體入口尺寸：
Ø124mm
可視窗口尺寸：
50mm
真空度：
5E-4 torr
真空抽口：
KF25法蘭
真空腔體窗片：
紅外絕熱材質
防輻射屏窗片：
石英材質
充氣閥接口：
Ø8 快拆接頭
預留接口：
2個探針臂接口，2個電學接口
減振支架（選件）
尺寸（mm）：800×800×870；桌腳：有固定腳和滾輪可調換