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  低溫探針台在科學研究和技術開發中發揮着至關重要的作用。它能夠在低溫環境下對樣品進行各種非破壞性的物理性能和電學性能測試，幫助研究人員深入分析材料或者器件的各種物理性能和電學性能，從而為新材料的研發和應用给予重要的數據支持。

  PSM-65K低溫探針台是的一款經濟小巧的閉循環低溫探針台，其緊湊型以及低振動的設計，能夠為半導體晶片的電學參數測試给予一個＜65K-350K高低溫真空測試環境，顺利获得外接不同的電學測量儀器，可完成材料/器件的IV、CV、光學以及微波等參數檢測，實現低溫真空環境下的晶片、晶圓和器件的非破壞性電學測試。

系統特點：

• 採用小型低振動閉循環製冷，無需消耗液氦，溫度65K。
• 振動小於1μm。
• 測試溫度範圍寬，支持65K-350K陆续在變溫。
• 耗電量小，輸入功率320W。
• 探針臂的位移調節在真空腔外操作，可以在不破壞真空 的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試。
• 獨特的探針臂 X-Y-Z-R四維調節，能滿足4英寸樣品的測試。
• 探針臂採用三同軸接頭，漏電性能好，實測漏電流小於100fA @1V@65K-350K。
• 真空腔材質為鋁製材料，能夠有效減小外界的電磁干擾，提高測試的精準度和穩定性。

參數和指標：