陆续在流液氦低溫探針台 PSM-LHe系列
PSM-LHe系列陆续在流液氦低溫探針台能夠為半導體晶片的電學參數測試给予一個1.6K-450K高低溫真空測試環境，顺利获得外接不同的電學測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數檢測，用於低溫真空環境下的晶片、晶圓和器件的非破壞性電學測試。
產品中心
PRODUCT CENTER
陆续在流液氦低溫探針台 PSM-LHe系列產品概述
液氦低溫探針台在科學研究和技術開發中發揮着至關重要的作用。它能夠在低溫環境下對樣品進行各種非破壞性的物理性能和電學性能測試，幫助研究人員深入分析材料或者器件的各種物理性能和電學性能，從而為新材料的研發和應用给予重要的數據支持。
PSM-LHe系列液氦低溫探針台能夠為半導體晶片的電學參數測試给予一個1.6K-450K高低溫真空測試環境，顺利获得外接不同的電學測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數檢測，用於低溫真空環境下的晶片、晶圓和器件的非破壞性電學測試。
特點
• 液氦低溫真空探針台，腔體真空度可達到10E-4torr。
• 探針臂的位移調節在真空腔外操作，可以在不破壞真空的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試。
• 獨特的探針臂 X-Y-Z-R四維調節，能滿足最大4英寸樣品的測試。最多可同時安裝6個探針臂，探針臂可選直流臂、光纖臂、微波臂等。
• 真空腔材質為鋁製材料，能夠有效減小外界的電磁干擾提高測試的精準度和穩定性。
• 探針臂採用三同軸接頭，漏電性能好，實測漏電流小於30fA@1V@1.6K--450K。
• 測試溫度範圍寬，最大支持1.6K-450K陆续在變溫。
陆续在流液氦低溫探針台 PSM-LHe系列技術參數
參數和指標：
| 探針台主機分類 | ||
| 型號 | PSM-LHe-2 | PSM-LHe-4 |
| 溫度範圍 | 1.6K--450K | 1.6K--450K |
| 控溫穩定性 | +/-50mK | |
| 樣品座 | ||
| 類型及材料 | 無氧銅接地鍍金樣品座 | |
| 尺寸 | 2寸 | 4寸 |
| 可選規格 | 絕緣樣品座 （溫度只能到400K） 同軸樣品座 （溫度只能到400K） 三同軸樣品座（溫度只能到400K） | |
| 探針臂 | ||
| 類型 | 直流探針臂（標準） | |
| 可訂製規格 | 微波探針臂、光纖探針臂、熱電偶探針臂 | |
| 數量 | 4 | |
| 接頭及電纜 | 三同軸接頭+極細同軸低溫電纜 | |
| 漏電流 | 30fA@1V 真空環境中 | |
| 信號頻率 | DC--50MHz | |
| 匹配阻抗 | 50歐姆 | |
| 位移範圍 | X+/- 12.5mm,Y+/- 50mm Z +/-7.5mm, R+/-10° | X+/- 12.5mm,Y+/- 50mm Z +/-7.5mm, R+/-10° |
| 光學系統 | ||
| 顯微鏡放大倍數 | 500倍 | |
| 解像度 | 小於2微米 | |
| 視場 | 最大22mm | |
| 工作距離 | 90--100mm | |
| 真空腔 | ||
| 材料 | 鋁合金 | |
| 真空腔尺寸 | 8英寸 | |
| 視窗尺寸 | 2英寸 | 4英寸 |
| 真空腔體窗口 | 紅外吸收窗口 | |
| 內層 | 標準石英窗口 | |
| 真空度 | 5E-4 torr | |
| 預留接口 | 2個探針臂接口&2個電學接口 | |
| 防輻射屏材料 | 不鏽鋼 | |
| 專用振動隔離桌 | ||
| 尺寸 | 800*800*800 | 900*900*800 |
| 桌推 | 固定腳&滾輪 | |
| 減振 | 重力減振&氣浮減振墊 | |
