HX50N系列半自動探針台
HX50N系列半自動探針台適用於4英寸、5英寸晶圓，包含二極管，三極管，MOSFET管、垂直結構晶片之測量，特別適合於翹曲晶圓和高壓晶片測試，可選配多針測試功能，可實現多顆同時測量之要求，提高機器的測試產能。
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HX50N系列半自動探針台產品概述
HX50N系列半自動探針台適用於4英寸、5英寸晶圓，包含二極管，三極管，MOSFET管、垂直結構晶片之測量，特別適合於翹曲晶圓和高壓晶片測試，可選配多針測試功能，可實現多顆同時測量之要求，提高機器的測試產能。
軟件功能介紹：
1.可測試圓片，測試範圍可選，支持隔行抽測和環形測試，MAP圖可以編輯測試；
2.支持壞點重測；
3.具備離線打點、同步打點功能；
4.具備接觸緩衝功能，針痕穩定；
5.運行精度補償功能，保證測試的穩定性；
6.測試良率、總數、速度顯示；
7.CCD圖像自動對準定位；
8.設備具備一定的抗干擾能力，支持高低溫測試，運行穩定；
9.多BIN分類測試，測試數據可以存儲，可以導出，兼容後道設備格式使用，具有數據統計分析功能；
10.操作員，管理員，系統廠家權限管理功能；
HX50N系列半自動探針台技術參數
參數和指標：
| 性能名稱 | 技術指標 |
| 可測試晶圓尺寸 | 4寸、5寸 |
| 工作枱行程 | 140mm×150mm |
| 控制精度 | ≤0.001mm |
| 全程精度 | ≤±0.05mm/140mm |
| Z向行程 | ≤5mm（可調） |
| θ向可調範圍 | ±15° |
| 支持高壓測試 | ≥2000V |
| 真空度 | ＞-0.08MP |
| 轉載晶圓數量 | 25片 |
| 電源 | AC220V 50Hz,1KW |
