多通道霍爾測試系統HSMC-10
HSMC-10多通道霍爾測試系統能夠為多電極圓柱型晶錠、D型晶錠和大型晶圓片给予一個變磁的環境。測試溫度：室溫或者77K液氮低溫，矩陣開關實現測試電極之間自由切換、選擇，適用於多電極樣品，有0.1T ~ 1T寬範圍磁場調節區間、快速零磁場控制功能。
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多通道霍爾測試系統HSMC-10產品概述
HSMC-10多通道霍爾測試系統能夠為多電極圓柱型晶錠、D型晶錠和大型晶圓片给予一個變磁的環境。系統有77K液氮單點選件，给予樣品在77K低溫下完成霍爾效應測量。搭配霍爾測試儀，能夠準確測得低遷移率材料的電學性能可在電磁場、液氮低溫環境（77K）下，對多種類型樣品進行快速自動化測試，以獲取樣品的霍爾參數，包含待測樣品的電阻率、霍爾電壓、霍爾係數、載流子濃度、霍爾遷移率和載流子類型等，填補傳統的霍爾測試儀器只能測量製備成型後樣品的空白。
系統特點：
• 具有行業先進的快速霍爾效應測試功能和數據分析功能，大大降低測量時間；
• 矩陣開關實現測試電極之間自由切換、選擇，適用於多電極樣品；
• 可定製電磁鐵能夠實現大磁場均勻區，適用於大樣品；
• 具有24電極自動選擇、切換測試和數據分析功能；
• 具有0.1T ~ 1T寬範圍磁場調節區間、快速零磁場控制功能；
• 具有自動進樣功能，可支持重達1kg待測樣品自動化進樣；
• 具有豐富樣品測試支架可選，可測圓柱型晶錠、D型晶錠、晶圓片（2寸、4寸和6寸）等各形各尺寸樣品；
• 具有數據採集、整理、分析、輸出功能，同時具備報告定製和導出功能；
• 具有系統可擴展性，升級後最多可支持32電極自動切換測試。
• 測試溫度：室溫或者77K液氮低溫；
多通道霍爾測試系統HSMC-10技術參數
參數和指標：
| 測量參數 | |
| 待測樣品尺寸 | 支持6寸或更大，兼容4寸和2寸 |
| 遷移率 | 0.01~1×106cm2/Vs |
| 標配電阻測量範圍 | 10mΩ ~ 10MΩ |
| 低溫溫區 | 77K |
| 霍爾測試最小R2 | 0.9999 |
| 矩陣開關參數 | |
| 開關類型 | EMR |
| 通道 | 共(4Bank×16CH/Bank)通道：4組，每組1切16 |
| 切換時間(Typ) | 6ms |
| 開關承載電壓 | 300VDC/250VAC |
| 開關承載電流 | 切換電流/持續電流：1A，脈衝電流：6A@100ms |
| 樣品類型 | |
| 圓柱型晶錠 | 圓柱型晶錠為圓柱體或者類圓柱體，晶錠上可有多個電極 |
| D型晶錠 | 沿圓柱型晶錠軸線對半剖開所得，晶錠上可有多個電極 |
| 晶圓片 | 2寸、4寸和6寸樣品 |
| 電磁鐵 | |
| 磁場範圍 | 0.1T~1T@50A(Φ300mm極面，固定氣隙75mm中心) |
| 磁場步長 | 10Gs |
| 磁場均勻度 | 75mm氣隙中心磁場優於1.0T@50A(φ300mm極面)工作時間30min 均勻區Φ150*30mm，均勻度 1% 均勻區Φ200*50mm，均勻度 5% 1%@（30*Φ150mm），5%@（50*Φ200mm）,重量：2337KG |
| 電磁鐵電源 | |
| 輸出功率 | 10 kW @ AC 380 V ±10%(50 ~60 Hz) |
| 輸出電流 | 50 A |
| 重量 | 30 kg |
| 二維步進電機 | |
| 水平X行程 | 400mm |
| 垂直Z行程(帶剎車) | 700mm |
| 77K液氮單點系統 | |
| 液氮容積 | 約3.38L |
| 恆溫器內尺寸（mm） | 190*54*33 |
| 測試溫度 | 室溫和77K液氮單點 |
