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  HX5N0系列全自動探針台是專業綜合型高效的全自動自動晶圓探針台，具有節省空間，高效率等特點，適用於4英寸、5英寸晶圓，包含二極管，三極管，MOSFET管、光電器件、傳感器和垂直結構晶片之測量，可選配多針測試功能，可實現多顆同時測量之要求，提高機器的測試產能。

產品特點：

  適用於晶圓高速自動測試，支持多路測試功能，有多樣靈活的測試方式及豐富的數據處理功能。 可實現自動掃描、對準定位功能。產品也可依據不同需求定製開發各種附加功能。該結構採用一台全自動和半自動搭配而成，全自動探針台也可以單獨使用，具有自動上下片功能，同時，該晶舟後方有待測晶舟緩衝區，支持測試車間自動化，自動加載晶舟，可實現測試車間無人化。

軟件功能介紹
1.可測試圓片，測試範圍可選，支持隔行抽測和環形測試，MAP圖可以編輯測試；
2.支持壞點重測；
3.具備離線打點、同步打點功能；
4.具備接觸緩衝功能，針痕穩定；
5.運行精度補償功能，保證測試的穩定性；
6.測試良率、總數、速度顯示；
7.CCD圖像自動對準定位；
8.設備具備一定的抗干擾能力，支持高低溫測試，運行穩定；
9.多BIN分類測試，測試數據可以存儲，可以導出，兼容後道設備格式使用，具有數據統計分析功能；
10.操作員，管理員，系統廠家權限管理功能；

參數和指標：