緊湊型手動探針台SPSM系列
SPSM系列探針台主要參數是樣品座尺寸：2英寸、4英寸；探針臂數量6個；樣品環境在大氣中，溫度範圍：室溫。SPSM系列緊湊型室溫手動探針台是一款經濟實惠、入門級的探針台，能夠對2寸、4寸晶圓片進行大量非破壞性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備，可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量。緊湊的桌面設計是學術和實驗研究的選擇。
產品中心
PRODUCT CENTER
緊湊型手動探針台SPSM系列產品概述
緊湊型室溫手動探針台的主要用途是為半導體晶片的電參數測試给予一個測試平台，外接不同的測量儀器，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測，用於室溫下超小晶片晶圓和器件的非破壞性測試。
SPSM系列緊湊型室溫手動探針台是一款經濟實惠、入門級的探針台，能夠對2寸、4寸晶圓片進行大量非破壞性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備，可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量。緊湊的桌面設計是學術和實驗研究的選擇。
特點
• 樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品
• 樣品座下方位移座可實現樣品座三維精細位移調節使得樣品測試和換樣更加便捷。
• 可安裝6個探針臂
• 探針臂採用磁鐵吸附，可任意移動，並且可以三維微調，操作方便，扎針精準，四個探針臂的探針可以扎到樣品的任意位置。
• 探針臂採用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電流小，在100fA以內
• CCD放大倍數為180倍，工作距離為100mm
緊湊型手動探針台SPSM系列技術參數
型號分類：
| 型號 | 樣品座尺寸 |
| SPSM-2 | 2英寸 |
| SPSM-4 | 4英寸 |
參數和指標：
| 樣品座 | |
| 卡盤尺寸： | 2/4英寸，可定製 |
| 材質： | 無氧銅鍍金 |
| 樣品固定方式： | 多孔分區吸附有外圈、內圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道 |
| 位移行程： | X-±6.5mm，Y-±6.5mm，Z-±5mm |
| 讀數精度： | 10μm |
| 探針臂 | |
| 固定方式： | 磁鐵吸附 |
| XYZ微調移動行程： | XYZ-13mm |
| 讀數精度： | 10μm |
| 探針臂數量： | 可安裝6個探針臂（左右各3個） |
| 電學線纜： | 三同軸線纜 |
| 漏電流： | 100fA |
| 探針類型： | 直流探針 |
| 光學系統 | |
| 顯微鏡放大倍數： | 50-1000倍 |
| 顯微鏡工作距離： | 90-100mm |
| 顯微鏡解像度： | 最小可識別3μm |
| 可加選件 | |
| 光學平台/直流探針/微波探針/樣品座/屏蔽箱/光纖 | |
