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HX12N系列半自動探針台配置高精度的直線電機滑台模組，行程滿足8英寸、12英寸晶片的測試。定位精度高，反應速度快以及使用壽命長等優勢，滑台同時配備了高精度的光柵反饋系統，保證了運行精度的可靠性，並且該模組為本公司自研產品，保證了模組的成品質量和生產周期，為探針台的測試给予了又快又準的硬件保障。

軟件功能介紹
• 可測試圓片，測試範圍可選，支持隔行抽測和環形測試，MAP圖可以編輯測試；
• 支持壞點重測；
• 具備離線打點、同步打點功能；
• 具備接觸緩衝功能，針痕穩定；
• 運行精度補償功能，保證測試的穩定性；
• 測試良率、總數、速度顯示；
• CCD圖像自動對準和定位；
• 設備具備一定的抗干擾能力，支持高低溫測試，運行穩定；
• 多BIN分類測試，測試數據可以存儲，可以導出，兼容後道設備格式使用，具有數據統計分析功能；
• 操作員，管理員，系統廠家權限管理功能

參數和指標：

性能名稱		技術指標
可測片徑		8″、12″
XY工作枱	結構	直線電機
	行程	230mm × 220mm，解像度：1μm
	速度	＞200mm/s
	定位精度	≤±2μm
承片台	Z向行程	10mm，解像度：1μm
	Z台精度	≤±1μm
	Z向解像度	≤±0.5μm
	θ向調節範圍	±25°
	θ向解像度	0.006°
顯微鏡/視頻顯示系統		雙目體視顯微鏡/可選配三目顯微鏡及CCD實時視頻顯示裝置
控溫範圍		-45℃~150 ℃
溫度設置解像度		0.1 ℃
溫度均勻性		-45°C 至 +150°C < ±1 °C，>150 °C < ±1 %