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  HSEM-06PS室溫變場探針台霍爾測試系統為4英寸待測樣品、器件给予了一個垂直可變磁場環境。外部連接其他電測儀表可在室溫下對晶片、晶圓和器件進行非破壞電學測試，比如不同磁場下電流、電壓、電阻等電學信號等。

系統特點：

• 樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品，採用多孔分區控制氣體吸附固定。（可定製其他尺寸） 
• 能给予可變的磁場環境，磁場大小±0.6T 
• 可安裝6個探針臂 
• 探針臂採用磁鐵吸附，可任意移動，並且可以三維微調操作方便，扎針精準，四個探針臂的探針可以扎到樣品的任意位置。 
• 探針臂採用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電流小，在100fA以內 
• CCD放大倍數為180倍，工作距離為100mm

測試材料：

• 熱電材料：碲化鉍、碲化鉛、矽鍺合金等
• 光伏材料/太陽能電池：（A矽（單晶矽、非晶矽）、CIGS（銅銦鎵硒）、碲化鎘、鈣鈦礦等）
• 有機材料：（OFET、OLED）
• 透明導電金屬氧化物TCO：（ITO、AZO、ZnO、IGZO（銦鎵鋅氧化物）等）
• 半導體材料：SiGe、InAs、SiC、InGaAs、GaN、SiC、InP、ZnO、Ga2O3等
• 二維材料：石墨烯、BN、MoS2等

參數和指標：