HX80N系列半自動探針台
HX80N系列半自動探針台是定製類適用於傳感器晶圓測試綜合型晶圓探針台，具有很好的測試精度，可搭配定製型儀表系統，完成諸如光電傳感器、壓力傳感器和氣體傳感器等測試。
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HX80N系列半自動探針台產品概述
HX80N系列半自動探針台是定製類適用於傳感器晶圓測試綜合型晶圓探針台，具有很好的測試精度，可搭配定製型儀表系統，完成諸如光電傳感器、壓力傳感器和氣體傳感器等測試。
軟件功能介紹
• 可測試圓片，測試範圍可選，支持隔行抽測和環形測試MAP圖可以編輯測試；
• 支持壞點重測；
• 具備離線打點、同步打點功能；
• 具備接觸緩衝功能，針痕穩定；
• 運行精度補償功能，保證測試的穩定性；
• 測試良率、總數、速度顯示；
• CCD圖像自動對準和定位；
• 設備具備一定的抗干擾能力，支持高低溫測試，運行穩定；
• 多BIN分類測試，測試數據可以存儲，可以導出，兼容後道設備格式使用，具有數據統計分析功能；
• 操作員，管理員，系統廠家權限管理功能
HX80N系列半自動探針台技術參數
參數和指標：
| 性能名稱 | 技術指標 | |
| 可測片徑 | 6″、12″ | |
| XY工作枱 | 結構 | 直線電機 |
| 行程 | 350mm × 400mm，解像度：1μm | |
| 速度 | ＞150mm/s | |
| 定位精度 | ≤±2μm | |
| 承片台 | Z向行程 | 10mm，解像度：1μm |
| Z台精度 | ≤±1μm | |
| Z向解像度 | ≤±0.5μm | |
| θ向調節範圍 | ±25° | |
| θ向解像度 | 0.006° | |
| 顯微鏡/視頻顯示系統 | 雙目體視顯微鏡/可選配三目顯微鏡及CCD實時視頻顯示裝置 | |
