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    室溫電磁鐵探針台 PSEM系列

    室溫電磁鐵探針台 PSEM系列

    PSEM系列室溫電磁體探針台是一款專門針對室溫可變磁場電測環境開發的探針台，给予±0.6T垂直磁場或±0.3T水平磁場，能夠對2寸、4寸晶圓片進行重複性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量、RF測量和霍爾測量。

    室溫電磁鐵探針台 PSEM系列產品概述

      室溫電磁鐵探針台不僅可以完成永磁鐵探針台所能完成的測試，並且可以為樣品測試给予一個可變磁場，磁場較強，磁場均勻區較大。此款探針台專門為在測量過程中需要陆续在磁場變化的實驗設計，在室溫下對晶片、晶圓和器件進行非破壞測試。


      PSEM系列室溫電磁體探針台是一款專門針對室溫可變磁場電測環境開發的探針台，给予±0.6T垂直磁場或±0.3T水平磁場，能夠對2寸、4寸晶圓片進行重複性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量、RF測量和霍爾測量。


    特點
    • 樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品，顺利获得移動樣品座下面的滑台，可以實現X-Y軸±50mm的移動行程，並且樣品座本身可以進行三維上的精細調節，使得樣品測試和換樣    更加便捷。
    • 探針臂底座採用磁鐵吸附固定，可使探針在X-Y-Z三個維度上進行調節，配合樣品座位移調節，可滿足探針快速扎到4英寸樣品的任意位置（探針臂可安裝6個，水平磁場電磁鐵探針台可安裝4個）
    • 探針臂採用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電性小，漏電流在100fA以內，探針臂內置線纜，避免雜亂的走線
    • 探針採用針套固定，只有針尖裸露在外，減小漏電
    • 電磁鐵支架與探針台採用分體隔離支架，在磁體運動時避免振動傳導到樣品上
    • 樣品固定方式採用多孔分區吸附，有外圈、內圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道，可吸附固定1mm*1mm樣品
    • CCD放大倍數為180倍，工作距離為100mm

    室溫電磁鐵探針台 PSEM系列技術參數

    型號分類：

    型號 PSEM-2H(水平磁場)
    		 PSEM-2V(垂直磁場)
    		PSEM-4V(垂直磁場)
    樣品座尺寸2英寸2英寸4英寸

    參數和指標： 

    樣品座
    卡盤尺寸：
    		2/4英寸，可定製
    材質：
    		無氧銅鍍金
    樣品固定方式：
    		多孔分區吸附有外圈、內圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道
    滑台
    X-Y移動行程：
    		2/4寸:±50mm（水平磁場探針台無滑台）
    移動精度：
    		10μm
    探針臂
    X-Y-Z移動行程：
    		X-13mm，Y-13mm，Z-13mm
    旋轉度：
    		360度自由旋轉
    移動精度：
    		10μm
    探針臂數量：
    		垂直磁場電磁鐵探針台可安裝6個；水平磁場探針台可安裝4個
    電學線纜：
    		三同軸線纜
    漏電流：
    		100fA
    探針類型：
    		直流探針
    光學系統
    顯微鏡放大倍數：
    		10-180倍
    顯微鏡工作距離：
    		90-100mm
    CCD相機解像度：
    		3800萬像素
    電磁鐵組件（垂直磁場）
    磁鐵型號：
    		EM-60V
    磁場大小：
    		±0.6T
    磁鐵間距：
    		30mm
    極柱：
    		直徑60mm，標配一副50mm純鐵極頭
    循環水冷卻
    電磁鐵組件（水平磁場）
    磁鐵型號：
    		EM-30H
    磁場大小：
    		±0.3T
    磁鐵間距：
    		60mm
    極柱：
    		標配一副60mm純鐵極頭
    循環水冷卻
    可加選件
    光學平台/直流探針/微波探針/樣品座/屏蔽箱/光纖