標配：直流探針臂
• 所有系統中都標配4個直流探針臂，探針臂帶三同軸接頭和內部的極細低溫電纜，電纜50歐姆阻抗匹配，可以進行直流到50Mhz的測量。
• 系統標配4套100微米直流探針，直流探針採用全通道Guarde保護結構。
• 直流探針臂漏電流指標：優於100fA@1V
• 獨特的探針臂 X-Y-Z-R四維調節，能滿足整個2寸或4寸樣品座上任意一點的測試，R軸探針臂擺動設計，有效降低了對探針Y方向運動行程的要求。
直流探針臂
可選：探針臂
• 微波探針臂：帶2.92mm接頭，內置 40Ghz 微波同軸電纜；帶1.85mm接頭，內置67Ghz 微波同軸電纜；帶1.0mm接頭，內置 110Ghz 微波同軸電纜
• 光纖探針臂：多模IRVIS光纖，波長範圍400-2100nm；單模SMF光纖，波長範圍1290-1650nm；多模UVVIS光纖，波長範圍200-900nm
S系列光纖臂
D系列光纖臂
可定製：探針臂
• 雙光纖探針臂
• 直流和微波組合探針臂
• 熱電偶探針臂
探針臂詳細型號可選：
