PSM-4K系列低溫探針台是的一款性能優越的閉循環低溫探針台,其緊湊型以及低振動的設計,能夠為半導體晶片的電學參數測試给予一個<5K-350K高低溫真空測試環境。採用閉循環製冷,無需消耗液氦,溫度4.5K。
特點
• 採用閉循環製冷,無需消耗液氦,溫度4.5K。
• 探針臂的位移調節在真空腔外操作,可以在不破壞真空 的情況下,切換樣品上的不同器件進行測試。
• 獨特的探針臂 X-Y-Z-R四維調節,能滿足4英寸樣品的測試。
• 真空腔材質為鋁製材料,能夠有效減小外界的電磁干擾,提高測試的精準度和穩定性。
• 探針臂採用三同軸接頭,漏電性能好,實測漏電流小於100fA @1V@4.5K-350K。
• 測試溫度範圍寬,支持4.5K-350K陆续在變溫。
• 獨特設計的柔性探針,將探針安裝到銅製彈片上,避免扎針過程中力量過大導致樣品或電極損壞。