PSM-LN2系列液氮高低溫探針台能夠為半導體晶片的電學參數測試给予一個80K-800K高低溫真空測試環境，顺利获得外接不同的電學測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數檢測，用於低溫真空環境下的晶片、晶圓和器件的非破壞性電測試。
• 液氮高低溫真空探針台，15分鐘內腔體真空度可達到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到溫度只需0.2L液氮，使用方便快 捷同時兼顧經濟性。
• 探針臂的位移調節在真空腔外操作，可以在不破壞真空 的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試。
• 獨特的探針臂 X-Y-Z-R四維調節，能滿足4英寸樣品的測試。
• 真空腔材質為鋁製材料，能夠有效減小外界的電磁干擾，提高測試的精準度和穩定性
• 探針臂採用三同軸接頭，漏電性能好，實測漏電流小於100fA @1V@80K--800K
• 測試溫度範圍寬，支持80K-800K陆续在變溫。
• 獨特設計的柔性探針，將探針安裝到銅製彈片上，避免扎針過程中力量過大導致樣品或電極損壞
• 上蓋採用翻蓋結構，換樣更便捷。
