電子技術的开展日新月異，突飛猛進。每當研究人員想要測試納米級精密微小的微電子器件，在高低溫環境下的基本電學性能（如電流、電壓、阻抗等）時，這台配有顯微鏡的高精度探針台——PSM-LN2液氨高低溫探針台便能夠脫穎而出，它可以對待測器件進行精密的測試和分析。在一些高低溫環境中測試細小器件的場景，PSM-LN2高低溫探針台更是可以輕鬆勝任，為研究人員给予良好的電測環境。
一、PSM-LN2系列液氮高低溫探針台有哪些優勢
這台高精度探針台全稱為PSM-LN2系列液氮高低溫探針台，它可以顺利获得顯微鏡和CCD將待測器件放大，用高精度微探針對待測器件進行扎針，再外接電學測試儀表進行測試和分析。它還能夠為半導體晶片的電學參數測試给予一個80K-800K高低溫真空測試環境，顺利获得外接不同的電學測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數檢測，用於低溫真空環境下的晶片、晶圓和器件的非破壞性電學測試。同時它還能夠在低溫環境下對樣品進行各種非破壞性的物理性能和電學性能測試，幫助研究人員深入分析材料或者器件的各種物理性能和電學性能，從而為新材料的研發和應用给予重要的數據支持，在科學研究和技術開發中發揮着至關重要的作用。
二、PSM-LN2系列液氮高低溫探針台有哪些特點
・液氮高低溫真空探針台，15分鐘內腔體真空度可達到10E-4torr，液氮消耗量小，降到最低溫度只需0.2L液氮，使用方便快捷同時兼顧經濟性；
・探針臂的位移調節在真空腔外操作，可以在不破壞真空的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試；
・獨特的探針臂X-Y-Z-R四維調節，能滿足最大4英寸樣品的測試；
・真空腔材質為鋁製材料，能夠有效減小外界的電磁干擾提高測試的精確性和穩定性；
・探針臂採用三同軸接頭，漏電性能好，實測漏電流小於100fA@1V80K——800K；
・測試溫度範圍寬，最大支持80K—800K陆续在變溫；
・上蓋採用翻蓋結構，換樣更便捷。
三、PSM-LN2系列液氮高低溫探針台由哪些系統組成
1.樣品座
・無氧銅樣品座
・表面有獨特設計，防止樣品滑動
・最大可容納4英寸樣品
2.探針
・直流&射頻探針
・螺釘固定，更換方便
・射頻探針頻率高達110GHz
3.真空腔體
・採用0圈密封，帶2/4英寸可視範圍石英窗口
・真空度能夠達到5E-4torr
・真空上蓋採用獨特設計，支持快速換樣
4.溫度控制系統
・閉環PID溫度控制
・可調節加熱器輸出，最大加熱功率100w
5.光學系統
・顯微鏡的放大倍數是10—180倍
・工作距離90—100mm
・解像度3μm
・兼配同軸光源和環形光源，保證各種樣品的清晰度
・顯示器有錄像、拍照、測量功能
6.探針臂
・標配四個直流探針臂
・可以進行X-Y-Z-R四維移動
・三同軸接頭和低噪音同軸線
・R軸獨特設計，能滿足4英寸樣品所有區域的扎針
7.底座和支架
・桌面式探針台，使用方便
・可安裝到光學平台
・可安裝到減振支架上
8.減振支架
・给予一個水平、減振的支架平台
・可滾輪移動
・尺寸和高度可定製
